會主動隔振的AOI晶圓自動光學(xué)檢測設(shè)備被動式空氣彈簧的用處仍然以生產(chǎn)制造為主。內(nèi)部有許多套件,這種套件涵蓋了彈簧，也包含大大小小零件。大家都知道，彈簧是由震動來調(diào)整承受力，以完成工作的。但套件里的零件通常間隔近點(diǎn),彈簧的振動頻率會讓其他已經(jīng)工作上的零件導(dǎo)致很大影響。因而，若空氣彈簧可以做到積級隔振，便可讓套件保持穩(wěn)定，充分發(fā)揮功效。晶圓自動光學(xué)檢測設(shè)備被動式空氣彈簧既能保證振動頻率比較低,同時還可減少或者直接阻隔振動頻率:
與其它零件的傳送。會主動隔振的空氣彈簧運(yùn)用了防護(hù)件,這類防護(hù)件通常是具備張力的,能把空氣彈簧完全密封性,這般便實(shí)現(xiàn)了隔離的作用。

除了可以阻隔工作頻率傳送以外,這種空氣彈簧還可以避免氣體泄露。一般構(gòu)造的空氣彈簧同是根據(jù)壓縮空氣的方式去調(diào)節(jié)承受重量的，但積級隔振空氣彈簧根據(jù)密閉式構(gòu)造,可以直接避免氣體泄露，工作人員在工作時無須經(jīng)常引入汽體。且就算擁有防護(hù)件,但會主動隔振的空氣彈簧不比一般彈簧大多少,在重量和規(guī)格上并無多少變化,因而實(shí)際操作方便快捷。